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王经理 女士
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发布时间：2020-10-29 05:17:58
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本发明的单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法，包括：在基底上形成两个敏感方向相互正交的、对水平加速度敏感的单轴加速度敏感单元，单轴加速度敏感单元包括微反光镜、弹性梁以及光高反射膜，在第二基底表面形成微反光镜扭转空间；将基底与第二基底键合；对双轴加速度敏感芯片和光纤准直器进行光学耦合封装。
三个单轴加速度传感器单元通过MEMS技术制造在单一的衬底上形成单芯片的三轴加速度传感器。与上述的MEMS三轴加速度传感器相比，这类加速度传感器有很多优点：其中包括适中的体积，小的交叉灵敏度，而且易实现在不同敏感方向具有相同性能。但是，目前已实现的基于MEMS技术的单芯片三轴加速度传感器，大多是直接将加速度信号转换成电信号，而不是利用光纤检测技术转换成光信号。
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