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发布时间：2020-04-29 03:46:59
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加速度传感器可以测量运动物体加速度，在惯性测量、惯性导航、振动测量等应用中具 有广泛的需求。相对于压阻、压电、电容原理的传统加速度传感器，光纤加速度传感器以其 技术特点成为一类重要的加速度传感器，正在受到越来越多的重视，在国民经济、中获 得了广泛应用。在一些重要、特殊应用领域，例如航空航天的制导系统、石油勘探的检 波系统、舰船的振动监测、桥梁建筑结构检测系统、交通情况监测系统等，急需具有抗电磁 干扰、高灵敏度、大动态范围、易复用的高性能光纤加速度传感器。
光纤加速度传感器按光学敏感原理主要可以分为光强调制型、相位调制型和波长调制型，业已开展了广泛、深入的研究，其中MEMS光纤加速度传感器引起了人们广泛的关注。MEMS光纤加速度传感器采用MEMS敏感结构和光纤检测技术，融合了MEMS微制造技术和光纤传感技术的特点，具有体积小、灵敏度高、批量制造等技术优势。
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